Home Khí công nghiệp Nitơ trifluoride NF3 khí đặc biệt cho Plasma khắc của tấm silicon không màu

Nitơ trifluoride NF3 khí đặc biệt cho Plasma khắc của tấm silicon không màu

by Bùi Thị Hà

Nitơ trifluoride là hợp chất vô cơ với công thức NF3. Hợp chất nitơ-flo này là một chất khí không màu, không mùi, không cháy. Nó tìm thấy việc sử dụng ngày càng tăng như một etchant trong vi điện tử. Nitrogen trifluoride là một loại khí nhà kính cực kỳ mạnh.

Mục lục

Nitơ trifluoride NF3 là gì ?

Nitơ trifluoride là vô cơ hợp chất với các công thức NF3. Này Nitơ-flo hợp chất là một không màu, không mùi, không cháy khí. Nó tìm thấy tăng sử dụng như một etchant trong vi điện tử.

Difference Between NF3 and NH3 | Compare the Difference Between Similar  Terms
Nitơ trifluoride NF3 là gì ?

Nitơ trifluoride là được sử dụng trong các Plasma khắc của silicon tấm. Ngày Hôm Nay Nitơ trifluoride là chủ yếu được sử dụng trong việc làm sạch các PECVD phòng trong các cao-Khối lượng sản xuất của tinh thể lỏng hiển thị và silicon dựa trên màng mỏng năng lượng mặt trời tế bào. Trong các ứng dụng NF3 Là ban đầu bị phá vỡ tại chỗ bởi một Plasma.

Khối lượng mol của nitơ trifluoride là 71 g / mol. Nó xuất hiện dưới dạng khí không màu và có mùi ẩm mốc. Hơn nữa, nó là một chất khí không cháy. Tuy nhiên, khí này là một khí nhà kính mạnh. Khi có phóng điện, chúng ta có thể điều chế hợp chất này bằng cách sử dụng các nguyên tố hóa học của nó; do đó, nó là một hợp chất hiếm mà chúng ta có thể điều chế trực tiếp bằng cách sử dụng các nguyên tố hóa học của nó (nguyên tử nitơ và flo).

Thông số kỹ thuật:

1.Tính chất vật lý

Tên sản phẩmNitơ Trifluoride
Công Thức phân tửNF3
UN Không Có.UN 2451
CAS Không Có.7783-54-2
EINECS Không Có.232-007-1

2.Điển Hình Thông số kỹ thuật

MụcĐơn vịChỉ số
NF3Vol.% ≥99.99599.99
CF4Vol.% ≤≤ 20≤ 40
N2Vol.% ≤≤ 5≤ 10
O2 + ARVol.% ≤≤ 3≤ 5
COVol.% ≤≤ 1≤ 5
CO2Vol.% ≤≤ 1≤ 5
N2OVol.% ≤≤ 1≤ 5
SF6Vol.% ≤≤ 2≤ 5
H2OVol.% ≤≤ 3≤ 1

Ứng dụng của Nitơ trifluoride

1. Chất liệu:

Nitrogen Trifluoride cũng có thể được sử dụng với chất diệt khuẩn vonfram và vonfram được sản xuất bởi CVD

2. Laser:

Nitrogen Trifluoride cũng được sử dụng trong laser hydro florua và deuterium fluoride, là loại laser hóa học.

Danh sách các loại khí chúng tôi cung cấpKhí CO2,khí O2khí Argonkhí Nitokhí C2H2khí SF6khí Ar siêu sạch, khí N2 siêu sạchKhí O2 siêu sạch. Khí cho máy cắt lazer P61, P81, khí NH3,khí Helikhí Hidro và các loại khí đặc biệt.

Cung cấp khí N2, CO2,Ar,SF6, NH3…

Lý do nên mua khí công nghiệp do Công Ty TNHH Venmer Việt Nam cung cấp

– Venmer là công ty chuyên sản xuất và cung cấp các loại khí công nghiệp, khí đặc biệt. Khí y tế, khí hiếm tại địa bàn Hà Nội nói riêng và trên toàn Việt Nam nói chung.

– Đây là đơn vị cung cấp khí uy tín, dành nhiều phản hồi tốt từ phía các đối tác.

– Khi mua khí công nghiệp tại Venmer, bạn hoàn toàn có thể yên tâm về chất lượng sản phẩm. Bởi các sản phẩm khí công nghiệp tại Venmerluôn được đảm bảo, có nguồn gốc xuất xứ rõ ràng. Đồng thời có những tiêu chuẩn chất lượng minh bạch, được kiểm chứng rõ ràng. Tất cả các bình, chai, hệ thống chứa khí,.. đều được đảm bảo an toàn và được kiểm định chất lượng định kì hàng năm.

– Giá cả, chi phí hơp lý, mang tính cạnh tranh trên thị trường . Nhưng vẫn đảm bảo chất lượng cho người tiêu dùng.

Cung cấp các loại khí, bình , bồn
Cung cấp khí công nghiệp , bồn khí , dàn hoá hơi …

– Đội ngũ nhân viên kinh doanh trẻ, chuyên nghiệp, nắm vững kiến thức trong ngành. Sẵn sàng tư vấn và giải đáp mọi thắc mắc cũng như yêu cầu của khách hàng.

– Bên cạnh việc cung cấp khí công nghiệp. Venmer còn cung cấp các thiết bị, vật tư liên quan. Ví dụ như van điều áp, ống dẫn khí, vỏ chai khíbồn chứa khí,..

CÔNG TY TNHH VENMER VIỆT NAM nhập khẩu chính hãng và phân phối khí trên toàn quốc với số lượng lớn. Chúng tôi luôn cam kết chất lượng hàng hóa tới quý khách hàng.

Liên hệ với chúng tôi để nhận được tư vấn và báo giá phù hợp về nhu cầu dùng khí công nghiệp của Quý khách hàng.

Liên hệ: Mr Hoàng 09.06.05.04.21

Related Articles